Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdDcs-Withdrawn - Historical SEMI PV86-0223 (technical revision)

Name: Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdDcs-Withdrawn - Historical SEMI PV86-0223 (technical revision)
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Description

SEMI PV86-0223 (technical revision)

装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。EPTは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを定義する。

本安全ガイドラインは，あるエリアでの一つの会社の従業員の作業が，隣接するエリアで作業する別の会社の従業員にとって危険要因（ハザード）となりうる場合を対象とする。

Many implementation issues that should be resolved for a particular software implementation are outside the scope of this Guide

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